電子探針的全稱為電子探針X射線顯微分析，它是電子光學(xué)的X射線光譜的結(jié)合產(chǎn)物。其主要功能是進行微區(qū)成分分析。特別適用分析試樣中的微小區(qū)域的化學(xué)成分，是研究材料組織結(jié)構(gòu)的元素分布狀態(tài)極為有用的分析方法。

電子探針的結(jié)構(gòu)

電子探針主要有電子光學(xué)系統(tǒng)（鏡筒）、X射線譜儀和信息記錄、顯示系統(tǒng)，如下圖所示：

電子探針的原理

電子探針的原理是用細聚焦電子束入射樣品表面。激發(fā)出樣品元素的特征X射線，分析特征X射線的波長（或特征能量）即可知道樣品中所含元素的種類（定性分析），分析X射線的強度，則可知道樣品中對應(yīng)元素含量的多少（定量分析）。

電子探針的特點

1、樣品制備方便，不損耗原始樣品。

2、把分析成分與顯微組織觀察有機的結(jié)合起來。

3、分析的靈敏度達到10-4～10-6g，而絕對量可達到10-15～10-18g。

4、分析區(qū)域可小到幾個微米，能提供元素微觀尺度的成分的不均勻信息。

電子探針的作

1、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分鑒定。

2、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領(lǐng)域。

3、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析。

4、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測。

5、進行材料表面微區(qū)成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點分布分析。

電子探針的優(yōu)點

電子探針可以對試樣中微小區(qū)域（微米級）的化學(xué)組成進行定性或定量分析?？梢赃M行點、線掃描（得到層成分分布信息）、面掃描分析（得到成分面分布圖像）。還能全自動進行批量（預(yù)置9999測試點）定量分析。電子探針技術(shù)具有操作迅速簡便（相對復(fù)雜的化學(xué)分析方法而言）、實驗結(jié)果的解釋直截了當(dāng)、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優(yōu)點。

電子探針的應(yīng)用領(lǐng)域

在冶金、地質(zhì)、電子材料、生物、醫(yī)學(xué)、考古以及其它領(lǐng)域中得到日益廣泛地應(yīng)用，是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。