1，微區(qū)分析電子探針?lè)治鰠^(qū)域可以是幾個(gè)立方微米，能將微區(qū)化學(xué)成分與顯微結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)起來(lái)進(jìn)行點(diǎn)分析（用于選定點(diǎn)的全譜定性分析或其中所含元素的定量分析），線分析（用于顯示元素沿選定直線方向上的含量變化）和面分析（用于觀察元素在選定微區(qū)內(nèi)含量分布）；

2，元素分析范圍廣配置了能譜儀的電子探針?lè)直媛屎芨撸灞潮雀?，定量分析?zhǔn)確，但樣品表面要平整光滑以方便聚焦；

3，不損壞試樣電子探針能同時(shí)利用掃描電子束得到二次電子或背散射電子的形貌圖像（但是形貌效果不如掃描電子顯微鏡），可以獲得更低的元素檢出限，定量分析更準(zhǔn)確，特別是微區(qū)分析表現(xiàn)突出。