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能源化工 FCB等離子蝕刻機(FCB等離子體表面處理機) 如果偏置間隔過寬,FCB等離子蝕刻機則重疊電容會過小,驅動電流會下降。同時,隨著偏移側壁寬度的增加,時延減小,但當達到 ... 2022-05-30