型號：AV-P4
外形尺寸：2140 (W) x1340 (D) x 1760(H) mm
反應(yīng)倉尺寸：320(W)x6 10(D)x50(H) mm
等離子體發(fā)生器：頻率13.56MHz,功率0- 600W可調(diào)，自動阻抗匹配
氣路系統(tǒng)：標(biāo)準(zhǔn)配置2路(O,\Ar/H2)，質(zhì)量流量計控制，氣體流量0- 200m/min可調(diào)
控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC全自動控制，手動+自動兩種操作模式
料片尺寸：長150-270mm，寬35-95mm
效率：4道4片，約500片/小時
應(yīng)用工藝：集成電路IC封裝工藝LED封裝工藝
備注：可按客戶需求彈性設(shè)計
產(chǎn)品特點：
性價比高，可通過組件和載具進(jìn)行形式轉(zhuǎn)換，兼容不同形狀大小的料片。
自動化程度高，全自動方式減少了人為因素，降低二次污染并節(jié)約了人力成本。
設(shè)備清洗后其表面活性明顯增強，均勻性和粘結(jié)力顯著提升。
屏幕動畫顯示全線工作狀態(tài)，運行過程實時監(jiān)控。
配備故障報警功能，可提示故障項目，便于發(fā)現(xiàn)和維修。
配備自動取片、傳輸、送片等其他方面的功能。
