型號：AS-V100-S
設(shè)備外形尺寸：長x深x高= 1200mmx 800mmx 1750mm
真空腔體尺寸：長x深x高= 450mmx 450mmx610mm
電源頻率：13.56MHz
電源功率：1 Kw
電極板規(guī)格：非標(biāo)定制
軟件控制：PLC觸摸屏
氣體純度要求：工業(yè)級氣體或更好
可加載氣體：02/ Ar/H2
靈活的貨架結(jié)構(gòu)允許在直接或下游等離子模式下處理各種各樣的部件載體。
13.56 MHz射頻發(fā)生器具有無與 倫比的過程再現(xiàn)性的自動(dòng)阻抗匹配專有軟件控制系統(tǒng)生成過程和生產(chǎn)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)過程控制。等離子腔體可支持不同 的組件和載具，如：料盒、托盤等。
AS系列產(chǎn)品說明：
采用自動(dòng)控制界面和觸摸屏人機(jī)界面，操作方便且可隨時(shí)實(shí)時(shí)工藝監(jiān)控。
獨(dú)特的型腔設(shè)計(jì)，清洗均勻性好，清洗質(zhì)量高。
等離子清洗具有重復(fù)性高，可控性強(qiáng)、利用率高、無污染、運(yùn)行成本低等特點(diǎn)。
不同的腔體結(jié)構(gòu)組合適用于不同類型的產(chǎn)品、組件或載具。
應(yīng)用領(lǐng)域比較廣泛，如半導(dǎo)體行業(yè)、模組、LED行業(yè)、汽車行業(yè)、新能源電池、太陽能等。
等離子AS-V100-S系列采用不銹鋼材質(zhì) 可滿足千級以上無塵室需求
